昭和電工
高耐湿・高熱伝導の窒化アルミニウムフィラーを開発

窒化アルミニウムは高い絶縁性、シリコンと同程度の熱膨張係数、半導体製造時に使用される塩素系ガスに対する耐性といった優れた特性を有している。また、アルミナや窒化ホウ素などの他のフィラー材料に比べて熱伝導率にも優れているが、水分が付着すると加水分解を起こして腐食性のアンモニアが発生することが問題となっていた。同社では、窒化アルミニウムの表面に独自の極薄膜による表面処理を行うことによって、樹脂に充てんしたときの熱伝導率を低下させることなく、表面処理をしていない窒化アルミニウムに比べてアンモニアの発生を１万分の１に抑えることが可能となり、高耐湿性・高熱伝導性を有する窒化アルミフィラーの開発に成功した。今後サンプル提供を通じて市場を開拓し、２０２３年から量産を開始する計画。